Nuestra tecnología permite el futuro
MKS instrumentación colabora con clientes en las industrias de monitorización medioambiental, defensa y seguridad, ciencias de la vida e investigación, procesos y fabricación industrial, al igual que en la industria de materiales de capa fina para desarrollar soluciones innovadoras a sus desafíos tecnológicos más duros.
“MultiGas™ & AIRGARD® FTIR” (dispositivo infrarrojo de transformada de Fourier) y “Process Sense™ NDIR” (infrarrojo no dispersivo) instrumentos de análisis de gas en tiempo real y en línea de MKS son capaces de detectar concentraciones desde ppb a ppm de diversos gases, como NF3, NH3, H2, NO, N2 O y aquellos gases con menos del 30% de contenido de agua.
El sistema de sensor “Precisive® TFS™”(Espectroscopia de filtro variable) consta de una fuente de luz, una celda de muestra (para gases, líquidos o sólidos), un elemento de separación de longitud de onda (espectrómetro) y un fotodetector.
Los analizadores de gas residual (RGA) son una herramienta eficaz para analizar las cargas de gas del sistema resultantes de fugas reales, fugas virtuales o desgasificación de la pared de la cámara. Los RGA tienen múltiples ventajas sobre los detectores de fugas de gas específicos tradicionales, como la capacidad de diferenciar entre varias especies de gas con niveles de sensibilidad comparables a los sistemas clásicos, la capacidad de detectar fugas internas o «virtuales», al igual que detectar y analizar los problemas de desgasificación.
Los espectrómetros de masas de un solo cuadrúpolo Cirrus™ son potentes herramientas analíticas para una amplia gama de aplicaciones de análisis de gas a nivel laboratorio e industrial. La familia Cirrus, con los sistemas de monitorización de gas a presión atmosférica Cirrus™ 3-XD y Cirrus™ 3 son ideales para el análisis de gas a granel, composición del gas, detección de trazas y gases contaminantes. Estas plataformas potentes, versátiles y personalizables, cuando se combinan con el software Process Eye™ Professional y su control basado en recetas, aumentan significativamente su productividad.
